W spektrometrze "Compact carbon AMS" detektor zlicza jony ¹⁴C o energii ok. 950 keV. Dla próbek materiału współczesnego, detektor zlicza przeciętnie 12000 jonów ¹⁴C na minutę. Dla próbek bardzo starych, daje on mniej niż 10 zliczeń na minutę.

Detektor ¹⁴C jest krzemowym detektorem półprzewodnikowym z barierą powierzchniową. Obszar czynny detektora ma powierzchnię 1 cm², a energetyczna zdolność rozdzielcza wynosi 25 keV. Detektor półprzewdonikowy jest zbudowany jak dioda półprzewodnikowa o dużych rozmiarach. Detektor jest podłączony do stałego napięcia tak, że normalnie nie przewodzi prądu elektrycznego. Przelatująca cząstka naładowana o dużej energii (taka jak np. jon ¹⁴C w spektrometrze AMS), uwalnia pewną ilość swobodnych nośników ładunku elektrycznego (elektronów i "dziur") powodując niewielkie wyładowanie elektryczne w obszarze półprzewodnika. To wyładowanie można zarejestrować jako pojedynczy krótkotrwały spadek (impuls) napięcia.